정밀성, 정량화.
포커스 제어 ± 0.5 μm · 위치 정확도 ± 1.0 μm · 공정 안정성 99.9%.
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포커스 제어 ± 0.5 μm · 위치 정확도 ± 1.0 μm · 공정 안정성 99.9%.
생산 공정의 핵심 변수들을 실시간으로 제어합니다.
연속적인 대규모 양산 사이클 속에서도 완벽한 일관성을 유지합니다.
단 하나의 오차도 허용하지 않는 서브 마이크론 수준의 정밀도를 구현합니다.
중단 없는 연속 공정 속에서도 흔들림 없는 플랫폼 반복 재현성을 보장합니다.
서브 마이크론 공정을 수행하는 레이저 헤드